设备ETF一度涨11.94%，出现了小幅溢价，还有2只科创半导体设备ETF、1只半导体设备ETF也涨超10%。

　　午后，半导体设备板块的整体涨幅有所回落，但截至收盘，半导体设备主题ETF依旧领涨非货ETF市场，5只相关产品昨日收盘涨幅超过了9%。

　　这也使得近5天半导体设备主题ETF的累计涨幅最多超过20%，领涨市场；“924”行情以来，这些产品也不乏翻倍基。而涨幅能维持多久，也成为市场的关注焦点。

　　具体来看，截至昨日收盘，国泰基金、易方达基金、万家基金旗下中证半导体材料设备主题ETF领涨，涨幅依次为9.55%、9.44%、9.4%。

　　而跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数的ETF中，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备ETF涨幅居前，昨日上涨9.1%；另外，鹏华基金旗下的上证科创板半导体材料设备ETF也涨超9%。

　　2只指数的成分股权重差异，带来了指数表现有所分化。中证指数官网显示，截至9月23日，2只指数的前十大权重股有7只重叠，头号权重股均是中微公司，但在中证半导体材料设备主题指数中，该股权重达到17%，上证科创板半导体材料设备指数则是11.25%。

　　跟随其后，北方华创、沪硅产业分别为中证半导体材料设备主题指数第二大、第三大权重股，其中，昨日触及涨停。上证科创板半导体材料设备的权重股第二、第三位则是拓荆科技、华海清科，昨日分别收涨9.7%、13.16%。

　　不过，在前一交易日，跟踪上述2只指数的ETF均已创下各自成立以来的净值新高，随着今天行情继续走强，昨日产品净值续刷新高也在意料之中。

　　去年“924”行情以来，这些ETF中不乏业绩翻倍。Wind数据显示，截至9月23日，广发基金、国泰基金旗下的中证半导体材料设备ETF净值分别上涨104.02%、100.06%；同样挂钩该指数的易方达基金、华夏基金、万家基金旗下产品也将在昨日净值更新后实现翻倍增长。

　　相较而言，跟踪上证科创板半导体材料设备指数的3只ETF均在年内成立，但同样表现亮眼，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备ETF成立以来回报已超过40%。

　　为何接连上涨？华泰柏瑞科创半导体设备ETF基金经理李沐阳提到，近期推动半导体设备与材料板块上涨的因素主要有三方面。

　　一是从历史规律看，四季度通常是存储芯片厂商的下单拐点期，随着四季度临近，行业有望迎来订单向上的拐点；

　　“算力硬件板块在AI的驱动下仍维持高景气，并已初步形成商业闭环；随着海外的制裁和国家安全的考量，国产算力的渗透率有望快速提升。”国泰基金认为，当前，海外头部云厂商的业务高增长，驱动资本开支持续上修，AI基础设施建设加速，利好国内光模块等深度参与海外算力产业链的相关领域上市公司。

　　消息面来看，美国当地时间周一，英伟达和OpenAI宣布达成合作，承诺将向后者投资高达1000亿美元，再度点燃了市场对人工智能的乐观情绪。

　　此外，在本月18—20日的华为全联接大会上，华为轮值董事长徐直军称，将于26Q1/26Q4/27Q4/28Q4分别推出昇腾950PR/昇腾950DT/昇腾960/昇腾970芯片。

　　而在2025阿里云栖大会上，阿里巴巴正式宣布与开展Physical AI合作。合作覆盖了Physical AI的实践的各个方面，包括数据的合成处理，模型的训练，环境仿真强化学习以及模型验证测试等。

　　资金面来看，在科技赛道的强势表现下，科创50ETF、半导体芯片ETF等正呈现被获利止盈的现象。数据显示截至9月23日，华夏基金、易方达基金旗下的科创50ETF本月被赎回最多，分别被净赎回89.6亿份、45.48亿份；同时，国联安中证全指半导体ETF、嘉实上证科创板芯片ETF等也被赎回超20亿份。

　　不过，半导体材料与设备ETF整体仍被净申购，跟踪前述2只指数的合计8只ETF在本月被净申购了13.54亿份。其中，成立时间最早的国泰中证半导体材料设备ETF被净申购最多，基金份额增加6.7亿份；华夏基金、华泰柏瑞基金旗下的科创板半导体材料设备ETF也被净申购较多。

　　展望后期，国泰基金认为，虽自2018年来自主可控高速发展，但目前我国半导体产业链条最大的卡脖子环节仍是设备，投资者可以关注半导体设备ETF的布局机会。

　　华夏基金则提到，在半导体产业链中，设备和材料是既非常重要，又亟待国产替代的关键环节。这也是近期科创半导体ETF异动的原因。他们认为，科创半导体材料设备指数为首只聚焦科创板半导体设备和材料行业的指数，核心环节占比高、成长性强的特征更加突出。

　　比如，指数中半导体设备含量近60%，半导体材料含量近24%，合计权重占比近84%，领先半导体类指数。